Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT с магнитным подвесом
Турбомолекулярные насосы серии EMT представляют собой 5-осевые вакуумные насосы с магнитным подвесом, абсолютно безмасляные.
Эти насосы подходят для различных применений, начиная с самой жесткой полупроводниковой промышленности, а также там, где необходимо применение сверхвысокого вакуума и сверхнизких вибраций.
Помимо стандартной версии, серия EMT предлагает пять основных типов турбомолекулярных насосов — с терморегуляцией, коррозионной стойкостью, ультранизкой вибрацией, радиационной стойкостью и сверхвысоким вакуумом.
Турбомолекулярные насосы серии EMT имеют широкий диапазон давления с максимальным противодавлением до 3 Торр.
Модели турбомолекулярных насосов с регулируемой температурой снижают скорость конденсации побочного продукта и накопления сточных вод, обычно встречающихся внутри турбомолекулярного насоса. Насос с запатентованной теплоизоляционной конструкцией со встроенной системой управления температурой является наиболее энергоэффективным термомолекулярным насосом с регулируемой температурой на рынке.
Турбомолекулярные насосы со сверхвысоким вакуумом эффективно откачивают самые легкие газы из области высокого вакуума в область сверхвысокого вакуума, уменьшая выделение газа и повышая эффективность сжатия водорода. Модель сверхвысоковакуумного турбомолекулярного насоса может достигать 10-10 мбар (10-8 Па) с коротким периодом обжига.
Модель турбомолекулярных насосов со сверхнизкой вибрацией отвечает современным требованиям в области литографии EUV, микрообработки (MEMS), измерения ширины линии CD, электронной микроскопии SEM / TEM, аналитических инструментов XPS и нанотехнологий. У турбомолекулярных насосов со сверхнизкой вибрацией амплитуда колебаний составляет менее 1 нм.
Сферы применения:
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленности.
- Производство FDli.
- Плазмохимическое травление.
- Производство оптических элементов.
- Вакуумные печи.
- Имитаторы космического пространства.
- Производство композитных материалов.
- Научно-исследовательские установки.
- Технологические процессы, где абсолютно недопустимо наличие масла.
Особенности и преимущества
- Полностью магнитный подвес.
- Любая ориентация при установке.
- Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
- Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
- Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры .
- Низкое энергопотребление.
- Опционально коррозионностойкое исполнение.
- Водяное или воздушное охлаждение.
- Компактные размеры.
- Возможность контроля оборотов ротора.
- Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.
Насосы EMT имеют внешний контроллер ETC011M и выполняются как с водяным, так и с воздушным охлаждением.
Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.
Насосы EMT-K поставляются только с фланцем ISO-B и водяным охлаждением. Могут быть выполнены в стандартном — литера B, коррозионно-стойком исполнении — литера C.
Технические характеристики EBARA серии EMT
Характеристики моделей | EMT390M | EMT420M | EMT900M | EMT1300M | EMT2400M | EMT3260M |
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 340 (290) | 400 (300) | 900 (1050) | 1300 (1200) | 2400 (1100) | 3200 (2700) |
Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 |
Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 |
Максимальный газовый поток по азоту (аргону), Па*л/c | 3680(1290) | 3680(1290) | 5520(2760) | 5520(2760) | 5520(3680) | 5520(3680) |
Скорость вращения ротора об/мин | 40800 | 48000 | 33600 | 33600 | 33600 | 33600 |
Размер фланцев (вход/выход) | NW100/NW25 | NW160/NW25 | NW160/NW25 | NW200/NW40 | NW250/NW40 | NW320/NW40 |
Допустимое выходное давление, Па | 400 | 400 | 500 | 500 | 200 | 400 |
Длительность запуска, мин | 2-3 | 2-3 | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 |
Длительность остановки, мин | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 |
Масса, кг | 14 | 14 | 34 | 34 | 45 | 80 |
Насосы с магнитным подвесом и встроенным контроллером
Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.
Технические характеристики EBARA серии EMT-K
Таблица 2. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K с магнитным подвесом и встроенным контроллером — технические характеристики.
Характеристики моделей | EMT2200MK | EMT3300MK | EMT4200MK |
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 2200 (1800) | 3200(2700) | 4200(2800) |
Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 |
Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 |
Размер фланцев (вход/выход) | ISO-B250/NW40(NW50) | ISO-B320/NW40 | ISO-B350/NW40-50 |
Допустимое выходное давление, Па | 400 | 400 | 160 |
Максимальный газовый поток по азоту Па*л/c | 4400 | 4000 | 2500 |
Длительность запуска, мин | 7-10 | 10-12 | 12-14 |
Масса, кг | 63 | 69 | 75 |