Турбомолекулярні насоси EBARA серії EMT з магнітним підвісом

Турбомолекулярні насоси серії EMT є 5-осьові вакуумні насоси з магнітним підвісом, абсолютно безмасляні.

Ці насоси підходять для різних застосувань, починаючи з найжорсткішої напівпровідникової промисловості, а також там, де необхідне застосування надвисокого вакууму і наднизьких вібрацій.

Крім стандартної версії, серія EMT пропонує п’ять основних типів турбомолекулярних насосів – з терморегуляцією, корозійною стійкістю, ультранизькою вібрацією, радіаційною стійкістю і надвисоким вакуумом.

Турбомолекулярні насоси серії EMT мають широкий діапазон тиску з максимальним протитиском до 3 Торр.

Моделі турбомолекулярних насосів з регульованою температурою знижують швидкість конденсації побічного продукту і накопичення стічних вод, що зазвичай зустрічаються всередині турбомолекулярного насосу. Насос із запатентованою теплоізоляційною конструкцією з вбудованою системою управління температурою є найбільш енергоефективним термомолекулярним насосом з регульованою температурою на ринку.

Турбомолекулярні насоси з надвисоким вакуумом ефективно відкачують найлегші гази із області високого вакууму у область надвисокого вакууму, зменшуючи виділення газу і підвищуючи ефективність стиснення водню. Модель зверхвисоковакуумного турбомолекулярного насосу може досягати 10-10 мбар (10-8 Па) з коротким періодом випалювання.

Модель турбомолекулярних насосів з наднизькою вібрацією відповідає сучасним вимогам в області літографії EUV, мікрообробки (MEMS), вимірювання ширини лінії CD, електронної мікроскопії SEM / TEM, аналітичних інструментів XPS і нанотехнологій. У турбомолекулярних насосів з наднизькою вібрацією амплітуда коливань становить менше 1 нм.

СФЕРА ЗАСТОСУВАННЯ:

• Напівпровідникова і мікроелектронна промисловості.
• Виробництво FDli.
• Плазмохімічне травлення.
• Виробництво оптичних елементів.
• Вакуумні печі.
• Імітатори космічного простору.
• Виробництво композитних матеріалів.
• Науково-дослідні установки.
• Технологічні процеси, де абсолютно неприпустима наявність масла.

ОСОБЛИВОСТІ І ПЕРЕВАГИ

• Повністю магнітний підвіс.
• Будь-яка орієнтація при установці.
• Кращі показники по потоку відкачуваного газу.

Унікальна конструкція підшипникового вузла, здатна витримувати різкі скачки тиску при прориві атмосфери.

• Висока стійкість до вібраційних навантажень.
• Можливість установки на рухливі частини вакуумної камери.
• Низький рівень споживання енергії.
• Опціонально корозійностійке виконання.
• Водяне або повітряне охолодження.
• Компактні розміри.
• Можливість контролю оборотів ротора.
• Система автоматичного калібрування і стабілізації становища підшипникових вузлів.

Насоси EMT мають зовнішній контролер ETC011M і виробляється як з водяним, так і з повітряним охолодженням.

Насоси EMT-K мають вбудований контроллер і виробляються/виконуються тільки з водяним охолодженням і фланцем стандарту ISO на всмоктуванні. Захищені за стандартом IP54.

Насоси EMT-K постачаються тільки з фланцем ISO-B і водяним охолодженням. Можуть бути виконані в стандартному – літера B, корозійно-стійкому виконанні – літера C.

Технічні характеристики Ebara серії EMT

Таблиця 1

Насоси з магнітним підвісом і вбудованим контролером

Насоси EMT-K мають вбудований контроллер і виробляються тільки з водяним охолодженням і фланцем стандарту ISO на всмоктуванні. Захищені за стандартом IP54.

Технічні характеристики Ebara серії EMT-K

Таблиця 2. Турбомолекулярні насоси EBARA серії EMT-K з магнітним підвісом і вбудованим контролером – технічні характеристики.