ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНІ НАСОСИ EBARA З КЕРАМІЧНИМИ ПІДШИПНИКАМИ
Серія EBT – це турбомолекулярні насоси з механічними підшипниками, що доповнюють лінійку турбомолекулярних насосів EMT MagLev.
Серія EBT – це високоефективні, економічно ефективні рішення для роботи в умовах високого вакууму.
Турбомолекулярні насоси EBARA серії EBT мають надзвичайно міцну конструкцію механічного підшипника, яка забезпечує чисте і надійне створення вакууму для сучасного високотехнологічного виробництва. Типові області застосування включають напівпровідникові, тонкоплівкові, фотоелектричні і аналітичні прилади.
Турбомолекулярні насоси EBARA серії EBT можуть встановлюватися в будь-якій орієнтації і ідеально підходять для рухливих частин вакуумної камери. Ці насоси забезпечують високу швидкість відкачування і високий ступінь стиснення легкого газу, що робить їх ідеальними для СВ і аналітичних систем.
Насоси EBT70F і EBT240F оснащені додатковим вбудованим контролером. Все турбомолекулярні насоси EBARA серії EBT доступні з водяним або повітряним охолодженням, а EBT70F – з конвекційним охолодженням.
ОСОБЛИВОСТІ І ПЕРЕВАГИ
- Будь-яка орієнтація при установці.
- Кращі показники по потоку відкачуваного газу.
- Неперевершена надійність.
- Унікальна конструкція підшипникового вузла, здатна витримувати різкі зміни тиску при прориві атмосфери.
- Висока стійкість до вібраційних навантажень.
- Можливість установки на рухливі частини вакуумної камери.
- Низький рівень споживання енергії.
- Опціонально корозійностійке виконання.
- Водяне або повітряне охолодження.
- Компактні розміри.
- Система автоматичного калібрування і стабілізації становища підшипникових вузлів.
ОБЛАСТІ ЗАСТОСУВАННЯ
- Напівпроводникова і мікроелектронна промисловість.
- Плазмохімічне травлення.
- Виробництво оптичних елементів
- Вакуумні печі.
- Виробництво композитних матеріалів.
- Науково-дослідні установки.
ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Таблиця 1. Турбомолекулярні насоси EBARA серії EBT – технічні характеристики.
| Характеристики моделей | EBT70F | EBT220F | EBT240F | EBT350F | EBT450F |
| Швидкість дії по азоту (водень), л/с | 75 (45) | 220 (100) | 240 (160) | 330 (210) | 450 (240) |
| Граничний залишковий тиск, Па | 10-7 | 10-6 | 5×10-7 | 10-6 | 10-6 |
| Максимальний ступінь стиснення по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 |
| Розмір фланців (вхід/вихід) | NW63/KF16 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW160/KF25 |
| Рекомендована продуктивність форвакуумного насосу – більше, л/хв | 25 | 80 | 80 | 80 | 80 |
| Тривалість запуску, хв | 2-2,5 | 1-1,2 | 5,5-7,5 | 2-2,5 | 2-2,5 |
| Тривалість зупинки, хв | 20-25 | 2,5-3,5 | 45-50 | 5-6,5 | 5-6,5 |
| Вага, кг | 5 | 8 | 10,5 | 6 | 10 |
| Характеристики моделей | EBT800F | EBT1100F | EBT1400F | EBT2400F |
| Швидкість дії по азоту (водню), л/с | 820 (650) | 1100 (720) | 1400 (750) | 2400 (1100) |
| Граничний залишковий тиск, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 |
| Максимальний ступінь стиснення по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 |
| Розмір фланців (вхід/вихід) | NW160/KF40 | NW200/KF40 | NW200/KF40 | NW250/KF40 |
| Рекомендована продуктивність форвакуумного насосу – більше, л/хв | 250 | 250 | 250 | 500 |
| Тривалість запуску, хв | 7-9 | 7-9 | 5,5-7 | 5-7 |
| Тривалість зупинки, хв | 27-32 | 27-32 | 15-18 | 15-18 |
| Вага, кг | 27 | 27 | 29 | 47 |