EMT



Застосування:
Дізнатись ціну
Тел: 044 355 25 93 Підбір, допомога і консультація

Турбомолекулярні насоси EBARA серії EMT з магнітним підвісом

Турбомолекулярні насоси серії EMT є 5-осьові вакуумні насоси з магнітним підвісом, абсолютно безмасляні.

Ці насоси підходять для різних застосувань, починаючи з найжорсткішої напівпровідникової промисловості, а також там, де необхідне застосування надвисокого вакууму і наднизьких вібрацій.

Крім стандартної версії, серія EMT пропонує п’ять основних типів турбомолекулярних насосів – з терморегуляцією, корозійною стійкістю, ультранизькою вібрацією, радіаційною стійкістю і надвисоким вакуумом.

Турбомолекулярні насоси серії EMT мають широкий діапазон тиску з максимальним протитиском до 3 Торр.

Моделі турбомолекулярних насосів з регульованою температурою знижують швидкість конденсації побічного продукту і накопичення стічних вод, що зазвичай зустрічаються всередині турбомолекулярного насосу. Насос із запатентованою теплоізоляційною конструкцією з вбудованою системою управління температурою є найбільш енергоефективним термомолекулярним насосом з регульованою температурою на ринку.

Турбомолекулярні насоси з надвисоким вакуумом ефективно відкачують найлегші гази із області високого вакууму у область надвисокого вакууму, зменшуючи виділення газу і підвищуючи ефективність стиснення водню. Модель зверхвисоковакуумного турбомолекулярного насосу може досягати 10-10 мбар (10-8 Па) з коротким періодом випалювання.

Модель турбомолекулярних насосів з наднизькою вібрацією відповідає сучасним вимогам в області літографії EUV, мікрообробки (MEMS), вимірювання ширини лінії CD, електронної мікроскопії SEM / TEM, аналітичних інструментів XPS і нанотехнологій. У турбомолекулярних насосів з наднизькою вібрацією амплітуда коливань становить менше 1 нм.

СФЕРА ЗАСТОСУВАННЯ:

  • Напівпровідникова і мікроелектронна промисловості.
  • Виробництво FDli.
  • Плазмохімічне травлення.
  • Виробництво оптичних елементів.
  • Вакуумні печі.
  • Імітатори космічного простору.
  • Виробництво композитних матеріалів.
  • Науково-дослідні установки.
  • Технологічні процеси, де абсолютно неприпустима наявність масла.

ОСОБЛИВОСТІ І ПЕРЕВАГИ

  • Повністю магнітний підвіс.
  • Будь-яка орієнтація при установці.
  • Кращі показники по потоку відкачуваного газу.

Унікальна конструкція підшипникового вузла, здатна витримувати різкі скачки тиску при прориві атмосфери.

  • Висока стійкість до вібраційних навантажень.
  • Можливість установки на рухливі частини вакуумної камери.
  • Низький рівень споживання енергії.
  • Опціонально корозійностійке виконання.
  • Водяне або повітряне охолодження.
  • Компактні розміри.
  • Можливість контролю оборотів ротора.
  • Система автоматичного калібрування і стабілізації становища підшипникових вузлів.

Насоси EMT мають зовнішній контролер ETC011M і виробляється як з водяним, так і з повітряним охолодженням.

Насоси EMT-K мають вбудований контроллер і виробляються/виконуються тільки з водяним охолодженням і фланцем стандарту ISO на всмоктуванні. Захищені за стандартом IP54.

Насоси EMT-K постачаються тільки з фланцем ISO-B і водяним охолодженням. Можуть бути виконані в стандартному – літера B, корозійно-стійкому виконанні – літера C.

 

Технічні характеристики Ebara серії EMT

Таблиця 1

Характеристики моделей EMT390M EMT420M EMT900M EMT1300M EMT2400M EMT3260M
Швидкість дії по азоту (водню), л/с 340 (290) 400 (300) 900 (1050) 1300 (1200) 2400 (1100) 3200 (2700)
Граничний залишковий тиск, Па 10-6 10-6 10-6 10-6 10-6 10-6
Максимальний ступінь стиснення по азоту 108 108 108 108 108 108
Максимальний газовий потік по азоту (аргону), Па*л/c 3680(1290) 3680(1290) 5520(2760) 5520(2760) 5520(3680) 5520(3680)
Швидкість обертів ротора об/хв 40800 48000 33600 33600 33600 33600
Розмір фланців (вхід/вихід) NW100/NW25 NW160/NW25 NW160/NW25 NW200/NW40 NW250/NW40 NW320/NW40
Допустимий вихідний тиск, Па 400 400 500 500 200 400
Тривалість запуску, хв 2-3 2-3 4-5 4-5 4-5 4-5
Тривалість зупинки, хв 4-5 4-5 4-5 4-5 4-5 4-5
Вага, кг 14 14 34 34 45 80

Насоси з магнітним підвісом і вбудованим контролером

Насоси EMT-K мають вбудований контроллер і виробляються тільки з водяним охолодженням і фланцем стандарту ISO на всмоктуванні. Захищені за стандартом IP54.

Технічні характеристики Ebara серії EMT-K

Таблиця 2. Турбомолекулярні насоси EBARA серії EMT-K з магнітним підвісом і вбудованим контролером – технічні характеристики.

Характеристики моделей EMT2200MK EMT3300MK EMT4200MK
Швидкість дії по азоту (водню), л/с 2200 (1800) 3200(2700) 4200(2800)
Граничний залишковий тиск, Па 10-6 10-6 10-6
Максимальний ступінь стиснення по азоту 108 108 108
Розмір фланців (вхід/вихід) ISO-B250/NW40(NW50) ISO-B320/NW40 ISO-B350/NW40-50
Допустимий вихідний тиск, Па 400 400 160
Максимальный газовий потік по азоту Па*л/c 4400 4000 2500
Тривалість запуску, хв 7-10 10-12 12-14
Вага, кг 63 69 75

 

 


Питання по товару