EBT



Застосування:
Дізнатись ціну
Тел: 044 355 25 93 Підбір, допомога і консультація

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНІ НАСОСИ EBARA З КЕРАМІЧНИМИ ПІДШИПНИКАМИ

Серія EBT – це турбомолекулярні насоси з механічними підшипниками, що доповнюють лінійку турбомолекулярних насосів EMT MagLev.

Серія EBT – це високоефективні, економічно ефективні рішення для роботи в умовах високого вакууму.

Турбомолекулярні насоси EBARA серії EBT мають надзвичайно міцну конструкцію механічного підшипника, яка забезпечує чисте і надійне створення вакууму для сучасного високотехнологічного виробництва. Типові області застосування включають напівпровідникові, тонкоплівкові, фотоелектричні і аналітичні прилади.

Турбомолекулярні насоси EBARA серії EBT можуть встановлюватися в будь-якій орієнтації і ідеально підходять для рухливих частин вакуумної камери. Ці насоси забезпечують високу швидкість відкачування і високий ступінь стиснення легкого газу, що робить їх ідеальними для СВ і аналітичних систем.

Насоси EBT70F і EBT240F оснащені додатковим вбудованим контролером. Все турбомолекулярні насоси EBARA серії EBT доступні з водяним або повітряним охолодженням, а EBT70F – з конвекційним охолодженням.

ОСОБЛИВОСТІ І ПЕРЕВАГИ

 

  1. Будь-яка орієнтація при установці.
  2. Кращі показники по потоку відкачуваного газу.
  3. Неперевершена надійність.
  4. Унікальна конструкція підшипникового вузла, здатна витримувати різкі зміни тиску при прориві атмосфери.
  5. Висока стійкість до вібраційних навантажень.
  6. Можливість установки на рухливі частини вакуумної камери.
  7. Низький рівень споживання енергії.
  8. Опціонально корозійностійке виконання.
  9. Водяне або повітряне охолодження.
  10. Компактні розміри.
  11. Система автоматичного калібрування і стабілізації становища підшипникових вузлів.

ОБЛАСТІ ЗАСТОСУВАННЯ

 

  • Напівпроводникова і мікроелектронна промисловість.
  • Плазмохімічне травлення.
  • Виробництво оптичних елементів
  • Вакуумні печі.
  • Виробництво композитних матеріалів.
  • Науково-дослідні установки.

ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Таблиця 1. Турбомолекулярні насоси EBARA серії EBT – технічні характеристики.

Характеристики моделей EBT70F EBT220F EBT240F EBT350F EBT450F
Швидкість дії по азоту (водень), л/с 75 (45) 220 (100) 240 (160) 330 (210) 450 (240)
Граничний залишковий тиск, Па 10-7 10-6 5×10-7 10-6 10-6
Максимальний ступінь стиснення по азоту 108 108 108 108 108
Розмір фланців (вхід/вихід) NW63/KF16 NW100/KF25 NW100/KF25 NW100/KF25 NW160/KF25
Рекомендована продуктивність форвакуумного насосу – більше, л/хв 25 80 80 80 80
Тривалість запуску, хв 2-2,5 1-1,2 5,5-7,5 2-2,5 2-2,5
Тривалість зупинки, хв 20-25 2,5-3,5 45-50 5-6,5 5-6,5
Вага, кг 5 8 10,5 6 10

 

Характеристики моделей EBT800F EBT1100F EBT1400F EBT2400F
Швидкість дії по азоту (водню), л/с 820 (650) 1100 (720) 1400 (750) 2400 (1100)
Граничний залишковий тиск, Па 10-6 10-6 10-6 10-6
Максимальний ступінь стиснення по азоту 108 108 108 108
Розмір фланців (вхід/вихід) NW160/KF40 NW200/KF40 NW200/KF40 NW250/KF40
Рекомендована продуктивність форвакуумного насосу – більше, л/хв 250 250 250 500
Тривалість запуску, хв 7-9  7-9 5,5-7 5-7
Тривалість зупинки, хв 27-32 27-32 15-18 15-18
Вага, кг 27  27 29 47

 


Питання по товару