EMT



ПРИМЕНЕНИЕ :
Узнать цену
Тел: 044 355 25 93 Подбор, помощь и консультация

Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT с магнитным подвесом

Турбомолекулярные насосы серии EMT представляют собой 5-осевые вакуумные насосы с магнитным подвесом, абсолютно безмасляные.

Эти насосы подходят для различных применений, начиная с самой жесткой полупроводниковой промышленности, а также там, где необходимо применение сверхвысокого вакуума и сверхнизких вибраций.

Помимо стандартной версии, серия EMT предлагает пять основных типов турбомолекулярных насосов — с терморегуляцией, коррозионной стойкостью, ультранизкой вибрацией, радиационной стойкостью и сверхвысоким вакуумом.

Турбомолекулярные насосы серии EMT имеют широкий диапазон давления с максимальным противодавлением до 3 Торр.

Модели турбомолекулярных насосов с регулируемой температурой снижают скорость конденсации побочного продукта и накопления сточных вод, обычно встречающихся внутри турбомолекулярного насоса. Насос с запатентованной теплоизоляционной конструкцией со встроенной системой управления температурой является наиболее энергоэффективным термомолекулярным насосом с регулируемой температурой на рынке.

Турбомолекулярные насосы со сверхвысоким вакуумом эффективно откачивают самые легкие газы из области высокого вакуума в область сверхвысокого вакуума, уменьшая выделение газа и повышая эффективность сжатия водорода. Модель сверхвысоковакуумного турбомолекулярного насоса может достигать 10-10 мбар (10-8 Па) с коротким периодом обжига.

Модель турбомолекулярных насосов со сверхнизкой вибрацией отвечает современным требованиям в области литографии EUV, микрообработки (MEMS), измерения ширины линии CD, электронной микроскопии SEM / TEM, аналитических инструментов XPS и нанотехнологий. У турбомолекулярных насосов со сверхнизкой вибрацией амплитуда колебаний составляет менее 1 нм.

Сферы применения:

  • Полупроводниковая и микроэлектронная промышленности.
  • Производство FDli.
  • Плазмохимическое травление.
  • Производство оптических элементов.
  • Вакуумные печи.
  • Имитаторы космического пространства.
  • Производство композитных материалов.
  • Научно-исследовательские установки.
  • Технологические процессы, где абсолютно недопустимо наличие масла.

Особенности и преимущества

  • Полностью магнитный подвес.
  • Любая ориентация при установке.
  • Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.

Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.

  • Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
  • Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры .
  • Низкое энергопотребление.
  • Опционально коррозионностойкое исполнение.
  • Водяное или воздушное охлаждение.
  • Компактные размеры.
  • Возможность контроля оборотов ротора.
  • Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

Насосы EMT имеют внешний контроллер ETC011M и выполняются как с водяным, так и с воздушным охлаждением.

Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.

Насосы EMT-K поставляются только с фланцем ISO-B и водяным охлаждением. Могут быть выполнены в стандартном — литера B, коррозионно-стойком исполнении — литера C.

Технические характеристики EBARA серии EMT

Характеристики моделей EMT390M EMT420M EMT900M EMT1300M EMT2400M EMT3260M
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 340 (290) 400 (300) 900 (1050) 1300 (1200) 2400 (1100) 3200 (2700)
Предельное остаточное давление, Па 10-6 10-6 10-6 10-6 10-6 10-6
Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108 108 108 108
Максимальный газовый поток по азоту (аргону), Па*л/c 3680(1290) 3680(1290) 5520(2760) 5520(2760) 5520(3680) 5520(3680)
Скорость вращения ротора об/мин 40800 48000 33600 33600 33600 33600
Размер фланцев (вход/выход) NW100/NW25 NW160/NW25 NW160/NW25 NW200/NW40 NW250/NW40 NW320/NW40
Допустимое выходное давление, Па 400 400 500 500 200 400
Длительность запуска, мин 2-3 2-3 4-5 4-5 4-5 4-5
Длительность остановки, мин 4-5 4-5 4-5 4-5 4-5 4-5
Масса, кг 14 14 34 34 45 80

Насосы с магнитным подвесом и встроенным контроллером

Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.

Технические характеристики EBARA серии EMT-K

Таблица 2. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K с магнитным подвесом и встроенным контроллером — технические характеристики.

Характеристики моделей EMT2200MK EMT3300MK EMT4200MK
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 2200 (1800) 3200(2700) 4200(2800)
Предельное остаточное давление, Па 10-6 10-6 10-6
Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108
Размер фланцев (вход/выход) ISO-B250/NW40(NW50) ISO-B320/NW40 ISO-B350/NW40-50
Допустимое выходное давление, Па 400 400 160
Максимальный газовый поток по азоту Па*л/c 4400 4000 2500
Длительность запуска, мин 7-10 10-12 12-14
Масса, кг 63 69 75

 


Вопрос по товару