EBT



ПРИМЕНЕНИЕ :
Узнать цену
Тел: 044 355 25 93 Подбор, помощь и консультация

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ EBARA С КЕРАМИЧЕСКИМИ ПОДШИПНИКАМИ

 

Серия EBT — это турбомолекулярные насосы с механическими подшипниками, дополняющие линейку турбомолекулярных насосов EMT MagLev.

Серия EBT — это высокоэффективные, экономически эффективные решения для работы в условиях высокого вакуума.

Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT имеют чрезвычайно прочную конструкцию механического подшипника, которая обеспечивает чистое и надежное создание вакуума для современного высокотехнологичного производства. Типичные области применения включают полупроводниковые, тонкопленочные, фотоэлектрические и аналитические приборы.

Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT могут устанавливаться в любой ориентации и идеально подходят для подвижных частей вакуумной камеры. Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и высокую степень сжатия легкого газа, что делает их идеальными для СВ и аналитических систем.

Насосы EBT70F и EBT240F оснащены дополнительным встроенным контроллером. Все турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT доступны с водяным или воздушным охлаждением, а EBT70F — с конвекционным охлаждением.

Особенности и преимущества

 

  1. Любая ориентация при установке.
  2. Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
  3. Непревзойдённая надежность.
  4. Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
  5. Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
  6. Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры.
  7. Низкое энергопотребление.
  8. Опционально коррозионностойкое исполнение.
  9. Водяное или воздушное охлаждение.
  10. Компактные размеры.
  11. Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

Области применения

 

  • Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
  • Плазмохимическое травление.
  • Производство оптических элементов
  • Вакуумные печи.
  • Производство композитных материалов.
  • Научно-исследовательские установки.

Технические характеристики

Таблица 1. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT — технические характеристики.

Характеристики моделей EBT70F EBT220F EBT240F EBT350F EBT450F
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 75 (45) 220 (100) 240 (160) 330 (210) 450 (240)
Предельное остаточное давление, Па 10-7 10-6 5×10-7 10-6 10-6
Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108 108 108
Размер фланцев (вход/выход) NW63/KF16 NW100/KF25 NW100/KF25 NW100/KF25 NW160/KF25
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин 25 80 80 80 80
Время запуска, мин 2-2,5 1-1,2 5,5-7,5 2-2,5 2-2,5
Время остановки, мин 20-25 2,5-3,5 45-50 5-6,5 5-6,5
Масса, кг 5 8 10,5 6 10

 

Характеристики моделей EBT800F EBT1100F EBT1400F EBT2400F
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 820 (650) 1100 (720) 1400 (750) 2400 (1100)
Предельное остаточное давление, Па 10-6 10-6 10-6 10-6
Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108 108
Размер фланцев (вход/выход) NW160/KF40 NW200/KF40 NW200/KF40 NW250/KF40
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин 250 250 250 500
Время запуска, мин 7-9  7-9 5,5-7 5-7
Время остановки, мин 27-32 27-32 15-18 15-18
Масса, кг 27  27 29 47

Вопрос по товару